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发明名称 METHOD OF MEASURING RESOLUTION OF ASPHERIC DIFFRACTION GRATINGS FOR VACUUM ULTRAVIOLET SPECTRUM REGION
摘要
申请公布号 SU864223(A1) 申请公布日期 1981.09.15
申请号 SU19792841344 申请日期 1979.11.13
申请人 STREZHNEV STEPAN A,SU;SAAMOVA TATYANA S,SU 发明人 STREZHNEV STEPAN A,SU;SAAMOVA TATYANA S,SU
分类号 G02B5/18;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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