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发明名称 TWO-STEP PLASMA ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 GB2069936(A) 申请公布日期 1981.09.03
申请号 GB19810004596 申请日期 1981.02.13
申请人 EATON CORP 发明人
分类号 C09K13/08;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C09K13/00;C04B41/00 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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