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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS56111040(A) 申请公布日期 1981.09.02
申请号 JP19800000153 申请日期 1980.01.07
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 ITOU KATSUHIKO;HORINO NOZOMI;KANEGAE MASAMI;TSUCHIMOTO TAKASHI
分类号 H01J37/317;B01J19/00;B01J19/08;C23C16/50;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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