发明名称 SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND ITS GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPS56109896(A) 申请公布日期 1981.08.31
申请号 JP19800009928 申请日期 1980.02.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 AOSHIMA TAKAAKI;KASE YUUSHI;YOSHINAKA AKIRA
分类号 C30B15/36;C30B29/00;C30B29/06;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/36
代理机构 代理人
主权项
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