发明名称 |
SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND ITS GROWING METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS56109896(A) |
申请公布日期 |
1981.08.31 |
申请号 |
JP19800009928 |
申请日期 |
1980.02.01 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AOSHIMA TAKAAKI;KASE YUUSHI;YOSHINAKA AKIRA |
分类号 |
C30B15/36;C30B29/00;C30B29/06;H01L21/02;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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