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发明名称 LIQUID PHASE GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS56109894(A) 申请公布日期 1981.08.31
申请号 JP19800011420 申请日期 1980.02.04
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HACHIMAN AKIHIRO;SADAMASA TETSUO
分类号 C30B19/06;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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