| 发明名称 |
SUCTION TYPE VACUUM TWEEZER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS56107896(A) |
申请公布日期 |
1981.08.27 |
| 申请号 |
JP19800005701 |
申请日期 |
1980.01.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UEKI KAZUYOSHI;TAKAYANAGI TOSHIHIKO;AOYANAGI TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J15/06;B65G49/07;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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