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发明名称 VERFAHREN UND ROHRREAKTOR ZUR PLASMACHEMISCHEN DAMPFPHASENABSCHEIDUNG UND ZUM PLASMAAETZEN
摘要
申请公布号 DD150318(A3) 申请公布日期 1981.08.26
申请号 DD19800218955 申请日期 1980.02.08
申请人 MOELLER,RAINER,DD;VOIGT,REINHARD,DD;KLEINERT,MICHAEL,DD 发明人 MOELLER,RAINER,DD;VOIGT,REINHARD,DD;KLEINERT,MNCHAEL,DD
分类号 C23C16/505;H01J37/32;H01L21/00;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C16/505
代理机构 代理人
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