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发明名称 LASER ANNEALING METHOD
摘要
申请公布号 JPS56104434(A) 申请公布日期 1981.08.20
申请号 JP19800168153 申请日期 1980.12.01
申请人 IBM 发明人 RANASHIPAA GANDATSUPA ANANSA;GURUMAKONDA RAMASUWAMINGAA SUR
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01L21/312;H01L21/331;H01L21/762;H01L29/04;H01L29/73 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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