发明名称
摘要
申请公布号 JPS5635639(B2) 申请公布日期 1981.08.18
申请号 JP19740014794 申请日期 1974.02.05
申请人 发明人
分类号 C30B27/02;C30B29/44;H01L21/208;H01L33/30 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
地址