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发明名称 WAFER COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS56103442(A) 申请公布日期 1981.08.18
申请号 JP19800179048 申请日期 1980.12.19
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人 FUREDERITSUKU TOOMASU TAANAA;MAACHIN ARUBAATO HATSUCHINSON;REIMONDO HAWAADO SHIYOU;ROORENSU TAANAA RAMONTO JIYUNI
分类号 B65G49/07;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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