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发明名称
Thermisch isolierende Behandlungskammer mit Einrichtung zur beliebigen Einstellung der Raumlage der zu behandelnden Gegenstände
摘要
申请公布号
CH380410(A)
申请公布日期
1964.07.31
申请号
CH19590077656
申请日期
1959.09.01
申请人
GESSNER,SIEGFRIED;GRASENICK,FRITZ,DR.
发明人
GESSNER,SIEGFRIED;GRASENICK,FRITZ,DR.
分类号
C23C14/50;F16H35/00;G21F7/06;H01L21/00;H01L21/68
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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