发明名称 Thermisch isolierende Behandlungskammer mit Einrichtung zur beliebigen Einstellung der Raumlage der zu behandelnden Gegenstände
摘要
申请公布号 CH380410(A) 申请公布日期 1964.07.31
申请号 CH19590077656 申请日期 1959.09.01
申请人 GESSNER,SIEGFRIED;GRASENICK,FRITZ,DR. 发明人 GESSNER,SIEGFRIED;GRASENICK,FRITZ,DR.
分类号 C23C14/50;F16H35/00;G21F7/06;H01L21/00;H01L21/68 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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