| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR REPRODUZIERBAREN HERSTELLUNG METALLISCHER SCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3004149(A1) |
申请公布日期 |
1981.08.13 |
| 申请号 |
DE19803004149 |
申请日期 |
1980.02.05 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HIEBER,DR.RER.NAT.,KONRAD;MAYER,DIPL.-PHYS.NOBERT |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/54;G01B21/08;H01L21/3205;(IPC1-7):C30B23/00;H01C17/08;H01C17/12;H01C17/24 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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