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发明名称 METHOD OF PROFILING IMPURITY CONCENTRATION IN SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 SU689423(A1) 申请公布日期 1981.08.07
申请号 SU19772530757 申请日期 1977.07.18
申请人 NAKHMANSON R.S.,SU 发明人 NAKHMANSON R.S.,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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