发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE TRANSISTOR BIPOLAIRE LATERAL AUTO-ALIGNE
摘要 <P>PROCEDE DE FABRICATION D'UN TRANSISTOR BIPOLAIRE LATERAL ORIENTE EN SURFACE PRESENTANT UNE BASE DE FAIBLE LARGEUR.</P><P>ON UTILISE, POUR CETTE FABRICATION, UNE COUCHE DE SILICIUM POLYCRISTALLIN 26 NON DOPE COMME MASQUE D'IMPLANTATION IONIQUE LORS DE L'IMPLANTATION D'IONS POUR LES REGIONS D'EMETTEUR ET DE BASE. POUR FORMER LE MASQUE DE POLYSILICIUM DOPE, ON FORME UNE PREMIERE COUCHE 24 DE MATERIAU DE MASQUE DE DOPAGE SUR LA SURFACE D'UNE SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR 12, PUIS UNE SECONDE COUCHE DE POLYSILICIUM NON DOPE 26 SUR LA PREMIERE COUCHE 24 ET ENFIN UNE TROISIEME COUCHE 28 DE MATERIAU DE MASQUE DE DOPAGE SUR LA SECONDE COUCHE 26. DES PARTIES DES SECONDE ET TROISIEME COUCHES 26, 28 SONT ELIMINEES ET L'ON DIFFUSE UNE IMPURETE DE DOPAGE DANS LA PARTIE MARGINALE EXPOSEE DE LA SECONDE COUCHE 26. LA TROISIEME COUCHE 28 ET LA PARTIE NON DOPEE DE LA SECONDE COUCHE 26 SONT ALORS ELIMINEES, CE QUI NE LAISSE SUBSISTER QUE LA PARTIE DOPEE DE LA SECONDE COUCHE 26 SUR LA PREMIERE COUCHE 24.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS OFFRANT DES DIMENSIONS SUBMICRONIQUES ET, PLUS PARTICULIEREMENT, D'UN DISPOSITIF LOGIQUE D'INJECTION INTEGRE.</P>
申请公布号 FR2475293(A1) 申请公布日期 1981.08.07
申请号 FR19810000979 申请日期 1981.01.20
申请人 FAIRCHILD CAMERA INSTRUMENT CORP 发明人 HEMRAJ KUNDANMAL HINGARH ET MADHUKAR BHAVANIDAS VORA;VORA MADHUKAR BHAVANIDAS
分类号 H01L21/8226;H01L21/033;H01L21/3215;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8224;H01L27/082;H01L29/73;H01L29/735;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/72;H01L29/70;H03K19/09 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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