发明名称 DEVICE FOR PRODUCING MULTILAYER SEMICONDUCTION STRUCTURES BY LIQUID EPYTAXY
摘要
申请公布号 SU852976(A1) 申请公布日期 1981.08.07
申请号 SU19772486967 申请日期 1977.05.16
申请人 INSTFIZ POLUPROVODNIKOV SO AN SSSR 发明人 BOLKHOVITYANOV YURIJ B,SU
分类号 C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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