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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5633854(B2) 申请公布日期 1981.08.06
申请号 JP19770045139 申请日期 1977.04.21
申请人 发明人
分类号 C23C14/06;C23C14/14;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/208;H01L31/04 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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