发明名称
摘要
申请公布号 JPS5699483(U) 申请公布日期 1981.08.05
申请号 JP19790183821U 申请日期 1979.12.28
申请人 发明人
分类号 G01T1/24;G01T1/02;H01L31/00;H01L31/09;(IPC1-7):G01T1/24 主分类号 G01T1/24
代理机构 代理人
主权项
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