发明名称 Vorrichtung zur Abscheidung von Halbleitermaterial aus der Gasphase auf stabförmigen Trägern aus Halbleitermaterial und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 CH400716(A) 申请公布日期 1965.10.15
申请号 CH19620003240 申请日期 1962.03.19
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 REUSCHEL,KONRAD,DR.
分类号 C01B31/00;C01B31/36;C01B33/035;C23C8/00;C23C16/44;C23C16/54;C30B25/12;F27B11/00;F27D5/00;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C01B31/00
代理机构 代理人
主权项
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