发明名称 |
Vorrichtung zur Abscheidung von Halbleitermaterial aus der Gasphase auf stabförmigen Trägern aus Halbleitermaterial und Verfahren zu deren Herstellung |
摘要 |
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申请公布号 |
CH400716(A) |
申请公布日期 |
1965.10.15 |
申请号 |
CH19620003240 |
申请日期 |
1962.03.19 |
申请人 |
SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
REUSCHEL,KONRAD,DR. |
分类号 |
C01B31/00;C01B31/36;C01B33/035;C23C8/00;C23C16/44;C23C16/54;C30B25/12;F27B11/00;F27D5/00;(IPC1-7):C23C13/08 |
主分类号 |
C01B31/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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