发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF D'ALIGNEMENT D'UN MASQUE ET D'UNE TRANCHE, |
摘要 |
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申请公布号 |
BE888344(A1) |
申请公布日期 |
1981.07.31 |
申请号 |
BE19810204424 |
申请日期 |
1981.04.09 |
申请人 |
WESTERN ELECTRIC CY INC. |
发明人 |
WHITE A;FELDMAN M;WHITE D |
分类号 |
H01L21/30;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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