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发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5693318(A) 申请公布日期 1981.07.28
申请号 JP19790159920 申请日期 1979.12.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YASUDA HIROSHI
分类号 H01L21/027;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/302;H01J37/304 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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