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发明名称 LITHOGRAPHIC PROCESS AND RESULTING ARTICLE
摘要
申请公布号 EP0018653(A3) 申请公布日期 1981.07.22
申请号 EP19800102402 申请日期 1980.05.02
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 HELLER, A.;TAI, KING LIEN;VADIMSKY, RICHARD GEORGE
分类号 G03C1/705;G03C5/56;G03F1/00;G03F1/08;G03F7/004;G03F7/06;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/22;G03C1/02;H01L21/30;H01L21/46 主分类号 G03C1/705
代理机构 代理人
主权项
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