METHODE DE PROTECTION DE CIRCUITS INTEGRES SEMI-CONDUCTEURS CONTRE LES PARTICULES ALPHA ET DISPOSITIFS OBTENUS

摘要

Méthode de protection de circuits intégrés tel que les mémoires vives à accès sélectif contre les particules alpha, dans le but d'éliminer les erreurs fugitives dues à des particules de 4 à 8 MeV provenant notamment de traces d'uranium ou de thorium dans le matériau d'encapsulation des circuits.
Elle consiste à recouvrir la surface active de la puce de matériau semi-conducteur 11 sur laquelle sont formés les circuits, par une couche 17 d'un polymère organique d'épaisseur suffisante (20 à 100 mu m) pour absorber les particules alpha. La couche 17 est de préférence formée d'une résine imide liquide, polymérisable à chaud ou par exposition à un faisceau d'ultra-violets ou d'électrons, qui reste stable pendant les traitements thermiques ultérieurs, notamment à la température de 400 degrés C nécessaire pour le scellement du couvercle 18 sur l'embase 15 d'un boîtier en céramique.
Application particulière aux mémoires à accès sélectif de 16 à 64 x 1024 éléments binaires.
(CF DESSIN DANS BOPI)