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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5630702(B2) 申请公布日期 1981.07.16
申请号 JP19730134117 申请日期 1973.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L29/66;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/80;H01L49/00 主分类号 H01L29/66
代理机构 代理人
主权项
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