发明名称 PLAK-OVERBRENGSYSTEEM.
摘要
申请公布号 NL8006934(A) 申请公布日期 1981.07.16
申请号 NL19800006934 申请日期 1980.12.19
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 B65G1/00;B65G1/16;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/67;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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