| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET ANISOTROOP ETSEN VAN EEN MONO- KRISTALLIJN PLAATJE VAN SILICIUM. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL166361(C) |
申请公布日期 |
1981.07.15 |
| 申请号 |
NL19720012612 |
申请日期 |
1972.09.18 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED TE NEW YORK. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23F1/10;C23F1/40;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/30;C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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