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发明名称 Apparatus for vaporization of polyatomic molecules by bombardement with a neutral particle beam
摘要
申请公布号 US3308292(A) 申请公布日期 1967.03.07
申请号 US19640356003 申请日期 1964.03.25
申请人 VON ARDENNE MANFRED 发明人 ARDENNE MANFRED VON
分类号 C23C14/28;G01N1/00;H01J49/10 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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