| 发明名称 |
ULTRAVIOLET RAY EXPOSURE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5685742(A) |
申请公布日期 |
1981.07.13 |
| 申请号 |
JP19790162457 |
申请日期 |
1979.12.13 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MATSUBARA KUNIHIRO;KATAYAMA YOSHITAKA |
| 分类号 |
G03B27/02;G03B27/72;G03C5/08;G03F7/20 |
主分类号 |
G03B27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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