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发明名称 DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF OPTICALLY THICK LAYERS
摘要
申请公布号 SU845804(A3) 申请公布日期 1981.07.07
申请号 SU19772501304 申请日期 1977.06.21
申请人 LEJBOLD-KHEROJS GMBKH UND KO.KG (FIRMA) 发明人 KHORST SHVIKKER,DE;GERNOT TORN,DE;KHANS-PETER ERL,DE
分类号 C23C14/54;G01B11/06;G05D5/03;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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