Stabilization of silicon semiconductor surfaces,申请号US19630318282-传众专利搜索

发明名称	Stabilization of silicon semiconductor surfaces
摘要
申请公布号	US3337438(A)	申请公布日期	1967.08.22
申请号	US19630318282	申请日期	1963.10.23
申请人	BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED	发明人	GOBELI GARTH W.;LIGENZA JOSEPH R.
分类号	C23C8/12;C23C8/36;H01J37/32;H01L21/316	主分类号	C23C8/12
代理机构		代理人
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