发明名称
摘要
申请公布号 JPS5681531(U) 申请公布日期 1981.07.01
申请号 JP19790162947U 申请日期 1979.11.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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