发明名称 Method of producing monocrystalline silicon components and application of the method to the production of pressure sensors
摘要
申请公布号 CH623958(A5) 申请公布日期 1981.06.30
申请号 CH19770013427 申请日期 1977.11.04
申请人 BBC AG BROWN, BOVERI & CIE 发明人 DR. MARTIN J. HILL;DR. TIBERIN MIZRAH;DR. CLAUS SCHUELER;DR. ROLAND SITTIG
分类号 H01L21/24;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/62;G01L9/08;H01L41/22 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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