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发明名称 TESTER
摘要
申请公布号 JPS5679267(A) 申请公布日期 1981.06.29
申请号 JP19790156154 申请日期 1979.11.30
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MATSUKAWA YASUSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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