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<p>Selon l'invention, les repères d'alignement d'un premier motif fixe, formant référence, sont constitués par au moins un couple de réseaux optiques périodiques (13,14) identiques, à pas constant (P) et distant l'un de l'autre d'une valeur prédéterminée (Dx) telle que la relation Dx = (n + ε)P soit vérifiée dans laquelle n est un nombre entier et ε une fraction de l'unité. Un modulateur optique, par exemple des moyens électro-optiques comprenant une cellule de POCKELS, illumine alternativement, au rythme de signaux de commande (Ve) à fréquence élevée (f), l'un ou l'autre des réseaux (13,14), ce dans des fenêtres (17,18) dont la position est réglable suivant un axe (Y2). L'image de ces fenêtres est projetée sur des réseaux portés sur un second motif (21) à aligner et produit des ordres de diffractions. Un détecteur optoélectronique (D) détecte un ordre prédéterminé (R1). Les signaux de sortie (Vs) modulés à la fréquence élevée (f) sont transmis à des circuits d'asservissement pour réaliser l'alignement automatique.</p> |
