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发明名称
FOERFARANDE FOER REAKTIV JONETSNING UNDER LAOG SJAELVPOLARISATIONSSPAENNING GENOM TILLSAETTNING AV INERTA GASER.
摘要
申请公布号
FI883805(A)
申请公布日期
1989.02.19
申请号
FI19880003805
申请日期
1988.08.17
申请人
L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET/L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
发明人
RUFIN, DENIS;HIRASE, IKUO
分类号
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L/
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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