发明名称 FOERFARANDE FOER REAKTIV JONETSNING UNDER LAOG SJAELVPOLARISATIONSSPAENNING GENOM TILLSAETTNING AV INERTA GASER.
摘要
申请公布号 FI883805(A) 申请公布日期 1989.02.19
申请号 FI19880003805 申请日期 1988.08.17
申请人 L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET/L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 RUFIN, DENIS;HIRASE, IKUO
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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