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发明名称 AGENTE DI DISTACCO PER FOTORESIST E PROCEDIMENTO PER LA SUA PRODUZIONE
摘要
申请公布号 IT1052264(B) 申请公布日期 1981.06.20
申请号 IT19750052225 申请日期 1975.11.14
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人
分类号 G03F7/00;G03F7/42;H01L21/308;H01L21/311;H05K3/06;(IPC1-7):C09K/;H01L/ 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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