发明名称 VAPOR PHASE GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5673696(A) 申请公布日期 1981.06.18
申请号 JP19790151209 申请日期 1979.11.20
申请人 HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI 发明人 NISHIZAWA JIYUNICHI;FUKASE MASAAKI
分类号 C30B25/02;H01L21/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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