发明名称 MANUFACTURE OF TRICHLOROSILANE
摘要
申请公布号 JPS5673617(A) 申请公布日期 1981.06.18
申请号 JP19790149238 申请日期 1979.11.17
申请人 OSAKA TITANIUM 发明人 NODA TOSHIO;NAKAYAMA EIICHI
分类号 C01B33/107;C01B33/02 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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