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发明名称
摘要
申请公布号	JPS56500823(A)	申请公布日期	1981.06.18
申请号	JP19800501348	申请日期	1980.05.14
申请人		发明人
分类号	G01N23/04;F23N5/04;G01T1/00;G01T1/24;G01T1/26;G01T1/29;G03G13/26;G03G15/22;G21K4/00;H01L27/14;H05G1/42	主分类号	G01N23/04
代理机构		代理人
主权项
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