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发明名称 EXAUSTING DEVICE WITH DIFFUSION PUMP
摘要
申请公布号 JPS5673288(A) 申请公布日期 1981.06.17
申请号 JP19790149559 申请日期 1979.11.20
申请人 ULVAC CORP 发明人 HAYASHI CHIKARA;KINOSHITA TOKISHIGE
分类号 F04F9/04;F04F9/06;F16L9/00 主分类号 F04F9/04
代理机构 代理人
主权项
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