发明名称 Apparatus and method for producing thin-film circuits
摘要
申请公布号 GB2064816(A) 申请公布日期 1981.06.17
申请号 GB19800035565 申请日期 1980.11.05
申请人 BROWN BOVERI & CIE AG 发明人
分类号 H01L27/01;H05K1/16;H05K3/02;H05K3/14;H05K3/22;H05K3/28;(IPC1-7):G05B15/02 主分类号 H01L27/01
代理机构 代理人
主权项
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