发明名称 Self aligned circuit element or component designed as a bipolar transistor in a semiconductor substrate, and process for its production.
摘要 <p>Ein aus ausschließlich horizontal übereinanderliegenden Halbleiterzonen (29, 44, 11) aufgebauter, seine Anschlüsse nur in einem einzigen Oberflächenbereich aufweisender Transistor, dessen oberste Zone (29) den ersten Transistoranschluß trägt und dessen unterste Zone (11) an einem sich bis zur Plättchenoberfläche erstreckenden, einen zweiten Transistoranschluß tragenden Halbleiterdurchgang (30) liegt, ist einschließlich dieses Halbleiterdurchgangs (30) in ein über einem verdickten Wandbereich einen dritten Transistoranschluß aufweisendes, dielektrisches isolierendes Rohr (19) eingebettet. Die mittlere, die Basis darstellende Zone (44) ist, über ihrer gesamten Umfangsfläche elektrisch kontaktierend, von einer den dritten Transistoranschluß tragenden, in ihrem restlichen Teil einen dielektrischen Überzug (38) aufweisenden, polykristallinen, elektrisch leitenden Schicht (39) umgeben, die bis auf ihren den Halbleiterdurchgang (30) überquerenden Schichtteil in die Rohrwandung (19) eingebettet ist. Dieser Schichtteil ist seinerseits in eine die Rohröffnung überquerende, dielektrische Isolationsbrücke (15) eingebettet. Dank großer Transistorenanschlußabstände und gegenüber Emitter- und Kollektorabmessungen unwesentlich größere Basisabmessungen liegen minimale Streukapazitäten vor.</p>
申请公布号 EP0029900(A2) 申请公布日期 1981.06.10
申请号 EP19800106267 申请日期 1980.10.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HORNG, CHENG TZONG;POPONIAK, MICHAEL ROBERT;RUPPRECHT, HANS STEPHAN;SCHWENKER, ROBERT OTTO
分类号 H01L21/76;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/762;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):01L29/72;01L21/82;01L29/62;01L21/76;01L29/10;01L29/08 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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