发明名称 METODO PARA CONTROLE DE MORFOLOGIA DA PRIMEIRA CAMADA DE DISPOSITIVOS DE IN1-X GAX ASY P1-Y
摘要
申请公布号 BR7907879(A) 申请公布日期 1981.06.09
申请号 BR19790007879 申请日期 1979.11.30
申请人 TELECOM BRASIL SA 发明人 NAVIN BHAILALBHAI PATEL;PRINCE F;DOUGLAS JOHN BULL
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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