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发明名称 METHOD OF FABRICATING INTEGRATED CIRCUITS BY CONTROLLED PROCESS
摘要
申请公布号 US3440715(A) 申请公布日期 1969.04.29
申请号 USD3440715 申请日期 1967.08.22
申请人 BELL TELEPHONE LAB. INC. 发明人 EDWARD J. SENG
分类号 H01L21/8222;H01L27/06;(IPC1-7):B01J17/00;H01L7/00 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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