| 发明名称 |
EXHAUST SYSTEM IN ELECTRON MICROSCOPE OR THE LIKE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5664195(A) |
申请公布日期 |
1981.06.01 |
| 申请号 |
JP19790137946 |
申请日期 |
1979.10.25 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB |
发明人 |
KITAJIMA OGIYOU |
| 分类号 |
F04D19/04;F04B37/16;F16F15/04;H01J37/18 |
主分类号 |
F04D19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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