发明名称 |
PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE CIRCUITOS A TRAVES DE PROCESO LITOGRAFICO |
摘要 |
<p>PROCEDIMIENTO DE FABRICACION DE CIRCUITOS IMPRESOS POR UN PROCESO LITOGRAFICO. SOBRE UNA SUPERFICIE DE ELABORACION ACTINICA SE SITUA UNA CAPA DE IDENTICO MATERIAL CON UNA ALTA PORCION DE VIDRIO DE CALCOGENURO Y MATERIAL CON CONTENIDO DE PLATA. PARTES DE ESTA CAPA SE SOMETEN A RADIACION ACTINICA QUE INDUCE UNA TRASLACION DE LA PLATA A ZONAS ESCOGIDAS. SE ELIMINA A CONTINUACION EL MATERIAL QUE CONTIENE PLATA Y NO HA SIDO AFECTADO POR LA RADIACION; PARA ESTO SE TRATA LA SUPERFICIE PRODUCIENDOSE UN HALURO DE PLATA QUE SEA HIDROSOLUBLE. LA INMERSION EN UNA SOLUCION QUE EXTRAE EL HALOGENURO Y EL LAVADO COMPLETAN EL PROCESO.</p> |
申请公布号 |
ES8103615(A1) |
申请公布日期 |
1981.06.01 |
申请号 |
ES19660004910 |
申请日期 |
1980.04.30 |
申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INC. |
发明人 |
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分类号 |
G03C1/705;G03C5/56;G03F1/00;G03F1/08;G03F7/004;G03F7/06;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/314;(IPC1-7):01L21/70 |
主分类号 |
G03C1/705 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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