发明名称 MAGNETRON DISCHARGING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS5664632(A) 申请公布日期 1981.06.01
申请号 JP19790140681 申请日期 1979.10.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KAGEYAMA KATSUO
分类号 G01L21/34;G01L21/00;H01J25/50 主分类号 G01L21/34
代理机构 代理人
主权项
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