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发明名称 DEVICE FOR TESTING HYBRIDE INTEGRAL MICROCIRCUITS DURING PRODUCTION SAME
摘要
申请公布号 SU834808(A1) 申请公布日期 1981.05.30
申请号 SU19792777961 申请日期 1979.06.04
申请人 LE I AVIATSIONNOGO PRIBOROSTROENIYA 发明人 LOPUKHIN VLADIMIR A,SU;FARBEROV MIKHAIL B,SU;SHELEST DMITRIJ K,SU;CHUDAKOVSKIJ MIKHAIL P,SU
分类号 H01L21/66;H01L21/70;(IPC1-7):H01L21/70 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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