发明名称 Verfahren zur Erhoehung der Sperrspannung thermisch oxydierter Siliziumkoerper mit mindestens einer Sperrschicht
摘要
申请公布号 DE1489631(A1) 申请公布日期 1969.09.04
申请号 DE19651489631 申请日期 1965.05.21
申请人 AKTIENGESELLSCHAFT BROWN,BOVERI & CIE. 发明人 DIETER JAHN,DR.
分类号 C25D11/32;H01L21/3063;H01L21/316;H01L29/00 主分类号 C25D11/32
代理机构 代理人
主权项
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