| 发明名称 |
APPARATUS FOR PLASMA PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3476971(A) |
申请公布日期 |
1969.11.04 |
| 申请号 |
USD3476971 |
申请日期 |
1967.12.18 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LAB. INC. |
发明人 |
JOSEPH R. LIGENZA;EDWARD I. POVILONIS |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;H05H1/48;(IPC1-7):H01J17/26;H01J61/28 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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