| 发明名称 |
METHOD OF PRECOATING IMPURITY REMOVABLE SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5660400(A) |
申请公布日期 |
1981.05.25 |
| 申请号 |
JP19790135537 |
申请日期 |
1979.10.20 |
| 申请人 |
EBARA MFG |
发明人 |
MIZUSHIMA TOYOJI;FUKUSHIMA YOUJI |
| 分类号 |
B01D37/02;B01J49/00;G21F9/00;G21F9/06;G21F9/12 |
主分类号 |
B01D37/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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